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產(chǎn)品展示
PRODUCT CENTER
用于硅片表面拋光清洗處理
產(chǎn)品特點(diǎn) | 技術(shù)參數(shù)
主要用于電池各工序所產(chǎn)生異常硅片的返工清洗處理
主要用于石墨舟清洗處理
用于PE-POLY路線石墨舟的清洗處理
用于硼擴(kuò)磷擴(kuò)LPCVD等石英舟石英管的清潔處理
配置進(jìn)口的臭氧水濃度檢測儀;可以進(jìn)行1拖多模式,每路單獨(dú)控制濃度;